上海微体系所：海内尾片300mmSOI晶圆制备完成

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IT之家10月20日动静 
，据中国科教院上海微体系所动静 ，上海微体系所魏星研讨员团队远日颁布收表 ，正在300mmSOI晶圆制制足艺圆里已获得冲破性停顿，制备出了海内第一片300mm射频RF）SOI晶圆。